การถ่ายภาพหินคืออะไร?
การพิมพ์หินด้วยแสงเป็นหนึ่งในกระบวนการสำคัญในการผลิตวงจรรวม (ไอซีหรือชิป) พูดง่ายๆ ก็คือเป็นกระบวนการคัดลอกรูปแบบวงจรบนพื้นผิวโดยใช้โฟโตมาสก์และโฟโตรีซิสต์
พื้นผิวจะถูกทาสีบนชั้นฉนวนซิลิกอนไดออกไซด์และสารต้านทานแสง โฟโตรีซิสต์สามารถละลายได้ง่ายด้วยดีเวลลอปเปอร์หลังจากสัมผัสกับแสง UV หลังจากละลายและแกะสลักแล้ว รูปแบบวงจรจะเหลืออยู่บนพื้นผิว
Photoresist คืออะไร? เหตุใดจึงต้องบล็อกความยาวคลื่น UV 500 นาโนเมตร
สารต้านทานแสงจะรวมกับเรซิน ตัวทำละลาย และสารเติมแต่ง ช่วงความไวแสงของสารต้านทานแสงคือ 200 นาโนเมตร-500นาโนเมตร ดังนั้นห้องปฏิบัติการเซมิคอนดักเตอร์หลายแห่งจะใช้แสงสีเหลืองซึ่งบล็อกความยาวคลื่น UV 500 นาโนเมตร เพื่อป้องกันไม่ให้เซลล์รับแสงได้รับแสงมากเกินไปหรือได้รับแสงก่อนเวลาอันควร
